基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE

基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE基恩士FD-V40A 分离式放大器气体流量传感器KEYENCE​

流量管理のデジタル化気体流量センサ登場

超小型・高速応答5ms センサヘッド 超小型の"M3フローセンサチップ"採用により、小型・省スペース化を実現 2段デジタル表示 瞬時流量と積算流量をデジタル化 多彩なアプリケーション 今まで管理されていなかった末端の気体流量を簡単かつ確実に検出 クラス最速、高速応答5ms 超小型センサヘッド  クラス最速  超小型・高速応答5ms 超小型の"M3フローセンサチップ"採用により小型・省スペース化を実現しました。また、全てのレンジで5msの高速応答を実現しました。吸着確認などのタクトアップに貢献します。  業界初  フローインジケータ＋動作表示灯 フローインジケータは、瞬時流量に合わせてスクロールスピードが変わります。動作表示灯は制御出力に合わせて赤色点灯します。ヘッドだけで流れの状態とON・OFFの状態が確認できます。 直管部不要の簡単取付 取付部は直管部不要なため、狭い所にも取り付け可能です。  質量流量測定  取付場所毎の調整・換算不要 FD-V40シリーズは質量流量で測定しているため、温度や圧力の影響は受けません。体積流量タイプで必要な調整や換算は不要です。表示は20℃、1気圧の体積流量に換算しています。 MEMS技術により高速応答を実現 ※MEMS（Micro Electro Mechanical Systemの略） M3フローセンサチップ （MEMS Mass Flow Sensor Chip） 測定原理 M3フローセンサチップはMEMS技術により小型化を実現しました。また、超小型・薄型の1μmダイヤフラム構造により熱伝導率が向上し、高速応答が可能になりました。 （a） 無風時はヒータの熱が左右均等に拡散しますので（a）のような分布になります。 （b） 流れがあると上流は流れにより冷やされ、下流側は上流側のヒータの熱により温められますので（b）のような温度分布になります。 （c） さらに流れが強くなると（c）のような温度分布になります。このようにヒータ前後の温度分布は流量に比例しますので比率から流量を求めることができます。 ​