在工业化时代,世界各国均以制造出大型机器而自豪;在信息化时代,各先进工业国家,均致力于微观物质的研究,并制造越来越小的机械;而进入纳米科技时代,为了适应国防、航空航天、医学和生物工程等方面的发展,微加工是当今制造业最为活跃的研究方向之一,微机械技术的发展水平已经成为一个国家综合实力的衡量标准之一。
激光微加工技术在微加工技术中越来越显示出其独特的优越性,具有广阔的发展前景,我国必须开发具有自主知识产权的激光微制造技术,才能在未来的高科技领域占有一席之地。
当精度要求达到一微米的时候,超短脉冲激光(或超快)对于重塑、焊接,或以其他方式修改大量的材料来说是最棒的工具。传统激光焦点能量在空间和波长上达到精度和成本效率比机械工具或等离子体放电侵蚀更加优秀。超短脉冲激光增加高脉冲的能量极大地改变光物反应。
使用超短脉冲激光在微加工中的特有优势包括增强的尺寸精度和更严格的公差,减少损害并去除后续处理步骤。这些激光器利用薄磁盘或光纤架构,使大功率输出,脉冲持续时间达到飞秒的范围。虽然该设备最初花费更多,但加工精度发生实质性的改善,让新设计降低整体时间,生产线的操作成本。因此,超短脉冲激光已经成为汽车,医疗设备和消费电子等行业重要的生产工具。
另一方面,超短脉冲激光钻孔加工,每一个激光脉冲精确去除相同数量的材料,实现一个近乎完美的喷孔。每束激光脉冲打孔的深度,根据脉冲能量设置不同,在在几十到几百纳米之间。激光钻孔很容易达到±1μm孔径公差。通常1秒钟每孔。因此,每个喷嘴有效喷出燃料,发动机符合所有的性能和排放要求
激光微加工生产效率高,成本低,加工质量稳定可靠,具有良好的经济效益和社会效益。飞秒激光以其独特的脉冲持续时间短、峰值功率高等优越性能正在打破以往传统的激光加工方法,开创了材料超精细、无热损伤和3D空间加工和处理的新领域。飞秒激光加工技术应用包括微电子学、光子晶体器件、高信息传输速度(1Tbit/s)的光纤通讯器件、微机械加工、新型三维光存储器、以及微细医疗器件制作和细胞生物工程技术等方面具有广泛应用前景。可以预言,激光微制造技术必将以其无可替代的优势成为21世纪迅速发展的一项高新技术。