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一、什么是洁净厂房、洁净厂房是空气中悬浮粒子受控的生产空间。它的设计、建造和使用应尽量减少室内诱入,产生和带菌粒子。室内其它有关参数,如:温度、相对湿度、压力等也按要求进行控制。
一.10万级电子车间净化原理
气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程。
10万级电子车间技术参数
换气次数:十万级10-15次/小时。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度:45-65%(RH);
噪声≤65dB(A);
新风补充量:总送风量的20%-30%; 照度:≥300Lux。
电子制造业厂洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流 洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:
●保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
●根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量:
●向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量:
噪声控制:应符合下列要求:
动态测试时,洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A;层流洁净室的噪声级不应大于65分
贝A。由于技术经济条件限制,或噪声大于70分贝A对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但不宜大于75分贝A;上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置(人离开)的测量值。对于变动噪声,则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
条洁净室的噪声频谱限制,应采用倍频程声太级。洁净厂房的平、剖面布置,应考虑噪声控制的要求,其围护结构应有良好的隔声性能,并宜使各部分隔声量相接近。洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备,应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。净化空气调节系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。 除事故排风外,应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。净化空气调节系统,根据室内噪声级的要求,风管内风速宜按下列规定选用:
总风管为6~10米/秒。无送、回风口的支风管为6~8米/秒。有送、回风口的大风管为3~6米/秒。洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。
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