一、表面轮廓仪概述：

        陕西威尔的SP系列轮廓仪所配的测量软件，拥有的修正功能和先进的算法；所配备的测量基准为高刚性高精度直线运动导轨；Z轴采用高精度数字式线性传感器，保证Z轴拥有极高的测量精度及良好的大量程线性指标。

二、技术参数：

    X1轴测量范围：150mm                        Z1轴测量范围：60mm

    分辨率：0..5μm                            分辨率：0.02μm

    检测方法：莫尔光栅                        检测方法：光栅传感器

    驱动速度：0.1、0.2、0.5、1mm/S 自定义     测针运动： 弧形运动

    测量方向：向后                            测针方向：向下

    直线度：2.5μm/50MM                       测针接触：自接触

    指示精度：±（1.5+2L/100)μm               指示精度：±（2+|2H|/40)μm

    立柱行程：400mm               立柱运动方式：电动

    夹具：综合平台   精密平口钳

    测臂：长度：200mm   直径8mm

    测针：  类型：单切面       长度：32mm      直径 4mm

三、技术特点：

    1、Z1轴采用高精度数字式线性传感器，测量范围大，精度高且稳定。

    2、采用高速并行数据采集单元、硬件触发、硬件高速采样、无延时。足够密集的数据源及稳定的数据源为后期的数据处理、计算提供最有力的保障

    3、大量程设计，杠杆比仅为1:2.2，最大限度保持了传感器的原有精度

    4、Z轴传感器整体结构无任何弹性元件，从而保证无论测针处于任何位置测力均是衡定的

    5、软件自主研发，标注，操作方式与cad一致，软件功能强大。

    6、对测针进行补偿

    7、拟合数据自动保存，便于多次标注