纯氩、高纯氩（GB/T4842-2006）、超纯氩（GB/T16945-2009）

项目名称

指标

超纯氩

高纯氩

纯氩

氩气（Ar)的体积分数/10-2              ≥

99.9999

99.999

99.99

氢气（H2)的体积分数/10-6              ≤

0.1

0.5

5

氧（O2）的体积分数/10-6               ≤

0.2

1.5

10

氮（N2)的体积分数/10-6                ≤

0.5

4

50

 甲烷（CH4)的体积分数/10-6               ≤

—

—

5

一氧化碳（CO)的体积分数/10-6          ≤

0.1

—

5

 二氧化碳（CO2)的体积分数/10-6          ≤

0.1

—

10

 总烃（以甲烷计）含量/10-6            ≤

0.1

1

—

水分/10-6                            ≤

0.2

3

15

注：表中纯度和含量均以体积分数表示（V/V)。