光解部分：

众所周知，紫外线是由电磁波组成，其本身所带有的能量与波长直接有关，波长越短，能量越大。通过采用D波段内的真空紫外线（波长范围170~184.9nm），照射有机气体或恶臭气体分子，当这些气体分子吸收了这类紫外线光后，因紫外线光本身所带有的能量，使有机气体或恶臭气体分子内部发生裂解，化学键断裂，形成游离状态的原子或基团（C*、H*、O*等）。同时，混合气体中的氧气被紫外线光裂解形成游离的氧原子并结合生成臭氧【UV+O2→O-+O*(活性氧) O*+O2→O3(臭氧)】；混合气体中的水蒸气被紫外线光裂解产生羟基【UV+H2O→H++OH-(羟基)】，而这些生成的臭氧和羟基具有极强的氧化性，可将废气分子裂解产生的原子和基团（甚至是有机气体或恶臭气体分子）氧化成H2O和CO2等无污染的低分子化合物。

另外，利用高能紫外线光束可裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀菌的目的。

等离子部分：

采用脉冲高压高频电源和齿板放电装置放电，在放电设备中产生的由电子、离子、自由基和中性粒子所组成的电离气体就是等离子体。这些在强电场的作用下，通过电场的有机废气分子受这些等离子体的作用获得足够高的能量，使其电离、离解，进而产生了大量的带有能量的自由电子，当这些电子的能量与C-C、C=C、C-H键的键能相等或更大时，可使这些碳氢化合物的分子链打开并被破坏其结构，使之形成游离态原子或基团；此外，在强电场作用下产生的臭氧也具有较强的氧化能力，这样有机废气的气体分子最终被氧化成H2O和CO2等无污染的低分子化合物。由于整个反应过程是采用高压电场而在常温下进行，故又称作低温等离子氧化工艺。

采用等离子光解组合工艺，优势互补。先用紫外UV光解工艺将有机废气成分中大部分的分子化学键裂解，并同时裂解氧气产生大量的氧化能力很强的臭氧，这些臭氧会将有机废气裂解后的游离态原子和分子基团进行氧化，生成CO2和H2O；由于有机废气一般成份较为复杂，部分有机分子的化学键键能较高，甚至高于光解的紫外线所具有的能量，这部分废气成份仅靠光解就无法被紫外光裂解。低温等离子工艺对低浓度的有机废气处理有着立竿见影的效果，经过光解净化后的有机废气浓度已经大大降低，而且等离子净化工艺对有机分子键键能没有具体限制，因此，在光解之后增加一步低温等离子工艺，可以彻底将有机废气净化，达到其他单独工艺无法达到的效果。经实际案例运用后检测，等离子光解组合工艺设备对有机废气的净化率可稳定在90%以上。