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太阳能电池需要一个大面积的
PN
结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池
PN
结
的专用设备。
管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、
废气室、
炉体部分和气柜部分等四大部分组成。
扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把
P
型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在
850---900
摄
氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一
定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了
N
型半导体和
P
型半导体的交界面,也就是
PN
结。这种方法制出的
PN
结均匀性好
,
方块电阻的不均
匀性小于百分之十
,
少子寿命可大于
10ms
。制造
PN
结是太阳电池生产最基本也是最关键的工序。因
为正是
PN
结的形成,才使电子和空穴在流动后不再回到原处,这样就形成了电流,用导线将电流引
出,就是直流电。
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