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一．10万级电子车间净化原理
气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃 → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程，即可达到净化目的。
10万级电子车间技术参数
换气次数：十万级10－15次/小时。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相对湿度：45－65％(RH)；
噪声≤65dB(A)；
新风补充量：总送风量的20％－30％； 照度：≥300Lux。
10万级电子车间结构材料
1.10万级电子车间洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。
2.10万级电子车间地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3.10万级电子车间净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
无尘室技术参数
换气次数：十万级10－15次/小时；万级15－25次/小时；千级50－52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。 压差：主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；
相对湿度：45－65％(RH)；噪声≤65dB(A)；新风补充量：总送风量的20％－30％； 照度：≥300Lux。
本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的标准、规范的有关要求
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