FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
FFU层流罩技术参数
项目 参数说明
箱体材质 标准：复铝锌板。其它材质：不锈钢板，冷板喷塑，铝合金板
箱体尺寸mm 575*575*320 1175*575*320 1175*1175*320
HEPA尺寸mm 570*570*69 1170*570*69 1170*1170*69
风速m/s 0.45-0.6 0.45-0.6 0.45-0.6
额定功率w 90 120 260
噪音dB 45-50
机外余压Pa 105
电源V/Hz 220V 50Hz
空气过滤器 过滤效率 HEPA HEPA 99.999% 0.3μm
ULPA ULPA 99.9995% 0.12μm
标准配置 二档调速控制
风量m3/h 1000 1500 2600
重量Kg 16 25 46
震动值mm/s ≦0.35 ≦0.35 ≦1.0
FFU具有特点：
第一：灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减少40%的运行成本。
FFU组合的关键性能参数：
模数尺寸（ceiling modular size）：安装吊顶龙骨中心线的间距，FFU常用的标准模数尺寸为1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’）。
实际尺寸（actual size）：中科圣杰的FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-（龙骨断面宽度-25mm），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm，模数尺寸为1200，900，600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170，870，570，风机模块的实际尺寸为1174，874，574。
机外余压（ESP）：在某一设定风速下，风机模块的总静压（TSP）扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力，即为机外余压（ESP），单位是Pa。ESP是指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。
输入能耗（input power consumption）：FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积，单位是W。显然，FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指明运行工况点，输入能耗值没有意义。
单体噪音（noise level）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值，单位是dB(A)。FFU在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。
微振（micro vibration）：根据标准IES-RP-CC002，FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是mm和mm/s。
送风均匀度（air uniformity）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时，在距离出风面上方150mm（6”）的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。
过滤器效率等级（filter grade）：依据欧洲标准EN1822，过滤器等级从H10-H14，U15-U17。或依据美国标准MIL-282（HEPA），对于0.3um的效率值；依据美国标准IES-RP-CC007.1，对于0.12um的效率值。
