简单介绍
NanoFocus μsurf 系列共聚焦显微镜在半导体检测领域有着显著特点，广泛适用于硅片、单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的最有效的光学三维表面测量和分析工具。
太阳能表面检测系统 的详细介绍
μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间内(约几秒)精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。
NanoFocus μsurf系列共聚焦显微镜3D显微镜，可以对半导体样品进行自动化测量，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的最有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行半导体产品栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检测和自动分析。
μsurf系列用来测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
1. 精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等;
2. 生命科学：测量stents支架上镀层厚度等
3. 微电子机械系统：微型器件的检测，医药工程中组织结构的检测，如基因芯片等
4. 半导体：检测微型电子系统，封装及辅助产品结构设计
5. 太阳能：电池片栅线的3D形貌表征、高宽比测量，制绒后3D形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析等
6. 纸张：纸张、钱币表面三维形貌测量
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上海曼戈斐光学技术有限公司主营产品：共聚焦显微镜,全自动影像仪,全自动晶元检测系统,太阳能表面检测系统,自动影像仪,共聚焦显微镜,光学测量仪,便携式共聚焦显微镜，白光共聚焦显微镜，激光共聚焦显微镜，3D共聚焦显微镜。
上海曼戈斐光学：
苏州曼戈斐光学：
技术参数
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
测量时间：2~10秒
测量原理：非接触、共聚焦
X/Y方向：平台移动范围200mmX200mm，马达驱动，最大移动速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向测量范围：500μm，Z方向分辨率：1nm
物镜：10X、20X、50X、100X(可选)
离轴摄像头(10X)，最大视野8 x 6 mm2(选配)
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件
工作电源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材质：钢铁、橡胶、大理石
洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
