AZO 靶材技术指标： 纯 度：3N5 主要成分：ZnO(98):Al2O3(2) 相对密度：d≥ 99% 理论密度：ρ= 5.6 g•cm-3 电 阻 率：1.7×10-3Ω•cm-1
靶材技术指标：
纯 度：3N5
主要成分：ZnO(98):Al2O3(2)
相对密度：d≥ 99%
理论密度：ρ= 5.6 g•cm-3
电 阻 率：1.7×10-3Ω•cm-1
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