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透射电镜的主要性能指标是分辨率、放大倍数和加速电压。
1.分辨率:在电子图像上能分辨出对应物上的最近两点间的距离称为透射电镜的点分辨率。透射电镜的线分辨率是指观察晶面间距时最小可分辨的晶面间距。分辨率反映了透射电镜观察微小显微结构的能力,它是标志电镜水平的首要指标。例如日立H8100透射电子显微镜的点分辨率为0.233nm,线分辨率为0.144nm。
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2.放大倍数:指图像相对于试样的线性尺寸的放大倍数,一般在50-1,000,000倍范围。将仪器的最小可分辨距离放大到肉眼可分辨所需的放大倍数称为有效放大倍数。透射电镜的放大倍数等于物镜(OBJ)、中间镜(I1、I2)和投影镜(P1、P2)的各自放大倍数的乘积,即:透射电子显微镜的放大倍数
。
3.加速电压:指电子枪中阳极相对灯丝的电压,它决定了电子束的能量,一般为50-1000kV。加速电压越高,电子束的能量越大,电子的穿透能力越强,可观察较厚的试样;加速电压越高,电子束的波长越短,电镜的分辨率越高