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产品概述：

● 整机一体化人机工程设计，方便操作测量
● X、Y、Z三轴步进伺服控制，定位精度高，速度快
● 具有快速自动对焦、自动寻边、自动测量功能，提高检验效率
● 可选配自动变倍功能，无需像素校正实现多倍率下高效测量
● 自主开发QMS3D软件，可满足不同客户的测量需求
● 具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能
● 采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力
● 配置操纵手柄，亦可软件程控
● SPC数据处理分析，大批量治具测量
● X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳
● 采用自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成于仪器内部，稳定性更高
● 程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量
● 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷
● 可选配：自动变倍镜头、同轴光镜头、激光位移器、简易测头、白光纳米检测模组

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性能参数：

仪 器 型 号		VMS-5040
工作台	玻璃台尺寸（mm）	570×470
	金属台尺寸(mm)	786×636
	运动行程（mm）	500×400
	仪器重量（kg）	850
	外形尺寸（mm）	1200×1270×1870
Z轴升降行程(mm)		200（可加高至400，需定制）
X、Y、Z数显解析度（μm）		0.5
工作距离(mm)		90
X、Y坐标示值误差		(2.5+L/100) μm (L为被测长度单位mm)
标配		电脑
光 学 系 统	变倍镜头	倍率0.7X—4.5X
	光源	上光源-LED表面环形光源 底光源-LED新型平行光源
	光学尺分辨力	0.5μm
	X、Y轴示值误差  (μm)	2.5+L/100(L为被测长度，单位：mm)
	摄像机	彩色1/2"摄像机
	视频总倍率	23.5X—180X
	物方视场	11.1—1.7mm

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