功能:适用于中小平面、球面在线快速检测
特点:适用于工厂的在线检测。采用目视估度,分立、卧两种类型。镜头可与国外60干涉仪镜头互换。
测量方式
菲索干涉原理
口径
60mm
X、Y轴调节范围
10mm(+/- 5mm)
Z轴调节范围
500mm
平面面形精度
λ/20
球面面型精度
λ/10
激光源
He-Ne激光器(λ=632.8nm)
分辨率
795H*596V
电源
AC 220V 50HZ
标准配件
一体化承物台、普通显示器
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