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产品简介

该真空镀膜机是针对铣刀、拉刀、钻头等工具的硬质薄膜研发，工架的设计能限度提高每炉的产品数量，转架采用下传动结构；数字调节渐起渐停，变频调速，双级行星式旋转的转架系统，适合于对小体积工件进行加工。

产品说明

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真空镀膜机是针对铣刀、拉刀、钻头等工具的硬质薄膜研发，工架的设计能限度提高每炉的产品数量，转架采用下传动结构；数字调节渐起渐停，变频调速，双级行星式旋转的转架系统，适合于对小体积工件进行加工。

特点：
1、采用国际先进水平的阳极层离子源和国内领先水平的平面矩形弧源
2、拥有多路反馈式控制系统：弧源控制，气路控制，工艺控制
3、采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
4、独特八面体腔体设计，既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
5、可镀超硬涂层如：TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN  TiAlN、DLC等。

产品参数

 

型号	HC-380	HC-600	HC-650	HC-900
负载直径	380mm	600mm	650mm	900mm
负载高度	420mm	500mm	700mm	1200mm
转轴托盘	3	8-10	8-10	10-16
转轴悬挂	variable	-	-	-
负载数量	250kg	500kg	500kg	1200kg
应用技术	ACA,CARC,UBM,DMS  Arc&Sputtering PACVD  Laser arc,HIPIMS	ACA,CARC,UBM,DMS  Arc&Sputtering PACVD  Laser arc,HIPIM	ACA,CARC,UBM,DMS  Arc&Sputtering PACVD	ACA,CARC,UBM,DMS  Arc&Sputtering PACVD
应用范围	工具涂层 汽车零部件装饰涂层 研发应用	大量工具涂层 研发 中型零部件涂层	大量小型零部件涂层 中型模具，拉刀涂层 装饰涂层	大量装饰涂层 大量大型汽车零部件涂层 大型挤压模，压铸模，拉刀

 

涂层	应用	显微硬度	厚度	摩擦系数	沉积温度 范围(℃)	最高工作 温度(℃)	应用技术	涂层系 统代码
TiN	Tool	2500	1-6	0.7	<600	600	ACA/CARC /HIPIMS	A
AlTiN	Tool	2500-3500	1-6	0.4	&lt;600	900	ACA/CARC /HIPIMS	A
AlTiN+W-C:N	Tool	2000-2500	1-6	0.2	150-450	450	Arc&Sputtering	A
AlTiN+Al2O3	Tool	2300	2-4		450-600	1100	Arc&Sputtering	A
AlCrN	Tool	3000	1-10	0.35	&lt;600	1100	ACA/CARC /HIPIMS	A
TiSiN	Tool	3500	1-3	0.5	&lt;600	1500	ACA/CARC	A
TiCN	Tool	3000	1-4	0.4	&lt;600	600	ACA/CARC /HIPIMS	A
TiAlN	Tool	2500-3500	1-6	0.4	&lt;600	800	ACA/CARC	A
TiN/TiAlN	Tool	2500-3500	1-6	0.4	&lt;600	800	ACA/CARC	A
CrCN	Tool	2000-2200	1-4	0.4	450-600	600	ACA/CARC	A
CrN+W-C:H	Tool/ Tribo	2000-2500	1-6	0.2	150-450	450	Arc&Sputtering/UBM	A
CrN	Tool/ Tribo	1500-2500	1-30	0.5	150-450	700	ACA/CARC/ UBM/HIPIMS	A
Cr2N	Tool/ Tribo	1500-3000	1-5	0.5	200-600	700	UBM/HIPIMS	A
Cr+W-C:H	Tool/ Tribo	1200-2000	1-5	0.1-0.2	160-300	400	UBM	A
Cr+W-C:H +DLC	Tool/ Tribo	2000-4000	1-3	0.05-0.15	160-300	350	UBM/UBM +PACVD	A
CrN+W- C:H+DLC	Tool/ Tribo	2000-4000	1-3	0.05-0.15	160-300	350	UBM/UBM +PACVD	A
Cr+W-C:H +Si-DLC	Tool/ Tribo	1500-2500	1-5	0.02-0.1	160-300	450	UBM/PACVD	A
ta-C	Tool/ Tribo	4000-7000	1-3	0.05-0.15	80-200	>500	CARC	C
Ti/Cr/Zr Carbon Nitrides	Deco	可重复颜色，例如：抛光铜，镍，不锈钢，黑色和金色					ACA	A
Ti/Cr/Zr Carbon Nitrides	Deco	可重复颜色，例如：抛光铜，镍，不锈钢，黑色和金色 广泛的色彩范围（低L值）					UBM	A
Multilayer coatings	Deco	不同的基底涂层，例如TIN,CRN,类金刚石DLC，在软基底 上获得的总硬度&gt;650HV。高光泽，同时也应用于厚涂层					UBM/PACVD /ACA	A
Metallization	Deco	非反应（性）PVD，纯金属的沉积					UBM	A

注：
1.厚度值针对标准使用情况，可根据客户需求调整
2.设备工作温度可设定为最高工作温度下任一温度值
3.涂层系统代码：A=所有系统     C=F850,F1000

应用技术	技术	说明
ACA	先进的受控阴极电弧	在整个平面阴极上电磁控制的电弧
CARC	圆弧	在圆形精细阴极上电弧
UBM	非平衡磁控溅射	在闭合区域内用线圈增强等离子体密度的溅射
DMS	对靶磁控溅射	增强等离子体密度磁控溅射，适合制备氧化物涂层，工艺过程稳定
HYBRID	电弧与溅射结合	电弧镀附着力强，溅射镀能获得特定性能
PACVD	等离子辅助化学想象沉积	等离子辅助的气相沉积
HIPIMS+	高能脉冲磁控溅射	适合工业应用，非常高的等离子体离下获得良好结合力和涂层致密度

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