VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜（SEM）与X-射线能谱仪（EDS）的一体化系统，其具有图像质量高，自动化程度高，操作简单，能实时快速进行元素分析等特点。另外，可变真空模式下，用户可以在自然状态下观测不导电样品。

·         概述

·         软件

·         技术规格

·         配件

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·         其他

特点：

·         SB型号样品室装有3轴马达驱动的样品台

·         一流YAG闪烁体探测器

·         样品室有10个接口可用于安装EDX、EBSD、EBIC等探测器

·         可选配其他探测器和附件

·         涡轮分子泵和机械泵同时工作几分钟可达到仪器操作需要的真空状态

·         在可变真空模式下可观察非导电的样品（SBU型号）

·         利用3D Metrology软件可以实现3维重构及测量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM，配备有3轴马达驱动样品台，适用于观察小型导电样品。同时可完成元素分析。

VEGA3 SBU-Easyprobe

可变真空型扫描电镜，体现了高真空模式和低真空模式的优点，可以在不喷金的情况下利用低真空模式直接观察不导电样品。同时可完成能谱分析。