一、设备介绍
MXG1200-PECVD系列等离子体增强化学气相沉积系统是利用辉光放电产生的等离子体中的电子的巨大动能与反应气体分子形成非弹性碰撞，使气体分子电离至分解从而达到高效激活气相的化学反应。该系统由MXG1200系列真空管式炉、石英反应腔室、射频电源、多通道混气系统、真空机组、反应控制系统组成。
二、功能特点
1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相；
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量；
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率；
4、能广泛用于：石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
三、设备技术参数
开启式真空管式炉技术参数
| |
石英管尺寸 | L1200mm Φ（60、80、100） |
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金电阻丝 |
测温元件 | K型热电偶 |
加热区长度 | 440mm |
恒温区长度 | 200mm |
工作温度 | ≤1100℃ |
控温模式 | 智能控温、可编程30段 |
控温精度 | ±1℃ |
升温速率 | ≤20℃/min |
电功率 | AC220V/50HZ/3KW |
质量供气系统技术参数
| |
混气管尺寸 | Φ80×120mm |
量程 |
|
数显压力表测量范围 |
|
极限压力 | 3MPa |
针阀 | 316不锈钢 |
截止阀 | Φ6mm 316不锈钢针阀 |
电功率 | AC220V/50HZ/20W |
真空系统技术参数 | |
连接方式 | KF25/40 |
抽速 |
|
极限真空度（标准腔体） | 0.1MPa |
测量范围(电阻规) |
|
电功率 | AC220V/50HZ/400W |
射频电源 | |
输出功率范围 | 5～500W |
控制模式 | 手动/PLC/PC |
工作频率 | 13.56MHZ标准正弦波 |
供电电压 | 单相交流（190V～240V） |
冷却方式 | 风冷 |
四、基本配置
1、炉体 1套（含石英管）
2、控制柜 3组（数显真空计、气路控制、射频电源）
3、真空系统
1、真空件
a) 双极旋片泵机械泵4L/S 1台
b) KF25高真空挡板阀： 1只
c) 真空波纹管： 1只
d) 数显真空计(成都国光)： 1套
e) 真空管路： 1套
f) KF卡箍 4只
1. 气路控制系统：
a) 进气阀： 1套
b) 4路质量混气系统（CH4 H2 Ar N2标准） 1套
c) 排气阀： 1套
d) 充气管路： 1套
4、射频电源 （500W） 1套
售后及服务
服务保障 | 质量：产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可查；每台设备都有唯一的制造编号，并建立用户档案。 交货期：按合同约定执行；如客户有特殊原因需提前交货的，我公司可特别组织生产，力争满足用户需求。 |
售 后 | 1、物流送货上门服务； 2、高效率服务：当设备不能正常使用时，请及时联系我们，我们会在10分钟内响应；2小时内提供应急解决方案；24小时内安排专业人员上门服务； 3、免费更换维修服务：本产品提供一年免费保修服务（易损件除外）； 4、定期回访服务：提供定期电话回访或上门回访服务； 5、免费更新服务：我们免费提供软件的升级更新服务，使设备始终处于国内领先； 6、保证配件供应：保证设备配件及配套产品的供应； |
MXG1200-CVD/PECVD系统用于石墨烯制备的国内用户（部分）
1、湖南元素密码石墨烯研究院
2、华东理工大学
3、华东师范大学
4、上海交通大学微纳院
5、赣南师范学院
6、常州第六元素
7、南开大学
8、厦门凯纳石墨烯技术有限公司
9、山东大学
10、中国科学院微电子研究所
