高精度电涡流传感器KD-2306

磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的微量位移测量

高精度电涡流传感器解决方案 

 在控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须地在能源的焦平面上。Kaman系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。

高精度电涡流传感器应用背景：

在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器，解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题，可实现高精度微运动。

在微驱动器的设计制造阶段，对运动精度标定和验证是一个必要的环节。

高精度电涡流传感器解决方案：

KD-2306电涡流传感器，采用非接触式测量，分辨率可以达到0.1μm。

高精度电涡流传感器主要特点

◆ 高分辨率和高采样率；

◆ 可自行调整零位、增益和线性；

◆ 可选择延长电缆、温度补偿等功能；

◆ 可测铁磁和非铁磁所有金属材料；

◆ 具有多传感器同步功能；

不受潮湿、灰尘的影响，对环境要求低；

详情请访问：

英国真尚有集团

深圳市真尚有科技有限公司

电话：0755 - 26528100 / 26528011/26528012

传真：0755-26528210/26435640