一.概述

    一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替, 干式无油、清洁环保的真空获得产品将加速替代水环泵、往复泵、油封式机械泵。螺杆真空泵属于非接触型干式泵, 是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

    螺杆真空泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，它是往复泵、水环泵、油封式滑阀真空泵、旋片真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。

    螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。吸入的气体平稳的加压高于排出处的气体压力。这样的设计使得排出的气体中不会混有油性物质。电机的动力通过联结装置传输给主动轴，主转动轴再通过定时齿轮传输给从动轴。

二．结构原理及特点

      螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩，只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，已经考虑了膨胀、加工及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体 ) 等。 泵腔内无油，对真空系统无污染，利于尾气回收，环保。

●螺杆转子

    转子分为等螺距与变螺距二种结构型式，LG型为等螺距转子，LGP为变螺距转子，转子均由五轴联动复合加工中心设备精密加工制造，加工后均通过精密G1级的动平衡试验，保证设备性能。螺杆转子材质根据不同的使用工况由以下三大类组成：

A、高等级球状石墨铸钢表面镀NI-P合金，适合一般气体介质或微酸碱性介质。

B、316L等不锈钢材料，适合对不锈钢不起反应的较强的酸碱性介质。

C、TA、TC系列钛材料，适合大部分酸碱性介质。

●定时齿轮

    等比齿轮是螺杆泵上最重要的部件之一，它能够使螺杆转子和转子之间保持固定的间隙。齿轮的齿面经过渗碳淬火处理后用特殊的高精度齿轮抛光设备进行抛光以减少噪音，齿轮精度达5-6级。

●轴承

    固定端轴承为SKF双列止推滚珠轴承，延展端轴承为高负载滚柱轴承。这些轴承均能够承受高速高负载运转，同时能够精确保持与齿轮和转子之间的间隙。

●轴封

    密封设备由多唇干式不锈钢旋转密封+气封复合组成。这种复合密封设备有效防止油类物质从前端板进入壳体，同时防止被抽介质进入齿轮轴承润滑腔，大大延长泵的使用寿命与减少维护，提高设备可靠性。

●  润滑油

   真空泵齿轮箱内采用油润滑，油应当添加至油镜中线以上。如果油量太小，轴承、齿轮和机械密封会因异常摩擦而受损。所以，当泵非工作状态时，请检查油量和油污染的状况，以决定是否需要增加或更换润滑油。润滑油将随着定时齿轮的旋转而均匀分布并且润滑轴承和机械密封。

特点：

1、  清洁环保：工作腔内无润滑油，为干式真空泵，有利于介质回收，可获得清洁真空，工作过程中无废油、废水排放，对环境无污染，是环保真空设备。

2、真空度高：转子型线优化设计，采用德国五轴联动复合加工中心精密加工而成，单泵极限压力LG型≤1Pa，LGP型≤5Pa，高真空区抽气量大，工作效率高，功耗低。

3、防腐（专利技术）：针不同的抽气介质，过流部件有钛材料、不锈钢、纳米陶瓷、喷涂

  NIP合金等多种材质及防腐镀层可供选择，可以抽除各种有腐蚀性、可凝性的化工介质，

   特别适用于制药、化工工艺中的产品蒸馏、干燥、脱气等腐蚀场合使用。

4、可抽除可凝性气体及少量粉尘气体（专利技术）：螺杆泵泵腔设计有自动吸气吹扫装置，可防泵腔内的少量粉尘沉积，可用于抽除含少量粉尘的气体。

5、特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑系统互相污染（专利技术）：此种特殊设计有效防止齿轮腔润滑油与泵腔介质互相渗透污染，做到真正的干式真空，延长泵轴承齿轮等主要部件的使用寿命。

6、LGP型变螺距节能低噪声（专利技术）：转子型线变螺距优化设计，节能效果显著，如：110L/S螺杆泵在入口1000Pa以内使用时功率近为5KW左右，不加消声设备噪声≤79dB。

7、防过载设计：变螺距螺杆泵配有变频调速设计可在任意压力下启动并运行。

8、运转平稳：转子作G1精细动平衡试验，运转平稳振动小。

9、高标准配置：轴承采用SKF，同步齿轮采用5级齿轮由杭齿制造，联轴器采用德标联轴器。

10、      附件配置齐全：螺杆泵配套设计有入口过滤器、出口消声器、出口冷却回收装置、温度传感器、移动式机架等多种配件。可供客户不同工况需要加以选择。

11、    不同行业作针对性差异化设计：本公司螺杆泵针对医药化工与电子行业不同的工艺工况对泵进行差异化特殊设计。LG螺杆泵系列真空度高，有防粉尘沉积设计，是H、2H滑阀泵系列、2X旋片泵系列的更新替换产品；LGH螺杆泵系列过流部分防腐设计，可抽除大量水蒸气及多种腐蚀性介质，排气口冷却回收消声设计清洁环保适用于化工、制药等工作环境较为恶劣的工作场合，是化工行业立式往复泵与水环泵系列更新替换产品。

12、    优质健全的零配件供应：采用我公司螺杆泵避免采用进口螺杆泵配件昂贵，供应周期长，得不到及时维修堪致导致客户不能正常生产的缺陷。

三．用途和使用范围

1.电工：变压器、互感器、环氧树脂真空浇注、电容器真空浸油、真空压力浸渍。

2.化工、制药：产品蒸馏、干燥、脱气、物料输送。

3.工业炉：真空钎焊、真空烧结、真空退火、真空加压气淬、真空脱羟等。
4.真空镀膜：真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜、薄膜卷绕连续镀膜、离子镀等。

5.冶金：特种钢冶炼、真空感应炉、真空脱硫、脱气。
6.航空、航天：航天搭载飞船轨道舱、返回舱、火箭姿态调整舱、宇航服、宇航员太空出舱、飞机升空等真空模似试验。
    7.干燥：变压法真空干燥、煤油气箱干燥、木材干燥、蔬菜冷冻干燥等。

四．性能参数

注意: (1)上述冷却水量是基于环境温度在20oC  时候的用量，使用循环用水量会有所变化。

以上数据仅供参考。