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气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。由于而死气体种类繁多，性质各不相同，不可能用一种传感器检测所有类别 的气体，因此，能实现电转换的传感器种类很多，按构成材料可将气敏传感器分为半导体和非半导体两大类。目前实际使用最多的是半导体气敏传感器。
　　半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体表面接触时，产生的电导率等物理性质的变化来检测气体的。按照半导体与气体相互作用时产生的变化只限于半导体表面或深入到半导体内部，可分为表面控制型和体控制型，前者半导体表面吸附的气体与半导体间发生电子接触，结果使半导体的电导率等物理性质发生变化，但内部化学组成不变，后者半导体与气体反应，使半导体内部组成发生变化，从而使电导率变化。按照半导体变化的物理特性，又可分为电阻型和非电阻型，电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时，其阻值变化来检测气体的成分或浓度，非电阻型半导体气敏元件是利用其他参数，如二极管仗安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体的。
　　气敏传感器是暴露在各种成分的气体中使用的，由于检测现场温度、湿度的变化很大，又存在大量粉尘和油雾等，所以其工作条件较恶劣，而且气体对传感元件的材料会产生化学反应物，附着在元件表面，往往会使其性能变差。因此，对气敏元件有下列要求，能长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质产生的影响小等。用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上的天然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒等有害气体的监测、预报和自动控制湿度是指大气中的水蒸气含量，通常采用绝对湿度和相对湿度两种表示方法。绝对湿度是指在一定温度和压力条件下，每单位体积的混合气体中所含水蒸气的质量，单位为g/m3，一般用符号ah表示。相对湿度是指气体的绝对湿度与同一温度下达到饱和状态的绝对湿度之比，一般用符号%rh表示。相对湿度给出大气的潮湿程度，它是一个无量纲的量，在实际使用中多使用相对湿度这一概念。
　　湿敏传感器是能够感受外界湿度变化，并通过器件材料的物理或化学性质变化，将湿度转化成有用信号的器件。湿度检测较之其他物理量的检测显得困难，这首先是因为空气中水蒸气含量要比空气少得多。另外，液态水会使











一些高分子材料和电解质材料溶解，一部分水分子电离后与溶入水中的空气中的杂质结合成酸或碱，使湿敏材料不同程度地受到腐蚀和老化，从而丧失其原有的性质，再者，湿度信息的传递必须靠水对湿敏器件直接接触来完成，因此湿敏器件只能直接暴露于待测环境中，不能密封。通常，对湿敏器件有下列要求，在各种气体环境下稳定性好、响应时间短、寿命长、有互换性、耐污梁和受温度影响小等。微型化、集成化及廉价是湿敏器件的发展方向超声技术是一门以物理、电子、机械及材料学为基础的，各行各业都要使用的通用技术。超声波技术广泛应用于冶金、船舶、机械、医疗等各个工业部门的超声清洗、超声焊接、超声加工、超声检测和超声医疗等方面，并取得了很好的社会效益和经济效益。因此，我国对超声波技术及其传感器的研究十分重视。
　　超声技术是通过超声波产生、传播者及接收的物理过程完成的。超声波具有聚束、定向及反射、透射等特性。按超声振动辐射大小不同大致可分为两类：用超声波使物体或物性变化的功率应用，称之为功率超声。用超声波获取若干信息，称之为检测超声。这两种超声的应用，都必须借助于超声波探头来实现