Hicube 真空泵组产品优点：

1. 涡轮分子泵和前级泵的结合；适合多种应用需求

2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求

3. 各部件配合简便，易于保养维修

4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统

5. “即插即用”-无需布线和安装

6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高

7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响

8. 可以直接连接真空计

　在抽吸反应性气体时，气体在泵内遭到压缩、压力增高，若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低，其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中，这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下，运动的叶片就会遭到损坏

分子泵对不同的气体的抽速和压缩比是有显著不同的。压缩比描述的是分子泵对特定气体的压缩能力。在分子泵的排气口压力保持不变的情况下，对压缩比比较大的分子泵来说，气体分子由排气口返流回进气口的量较小，反之，则返流较大。