Hicube 真空泵组产品优点：

1. 涡轮分子泵和前级泵的结合；适合多种应用需求

2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求

3. 各部件配合简便，易于保养维修

4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统

5. “即插即用”-无需布线和安装

6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高

7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响

8. 可以直接连接真空计

德国普发 PFEIFFER 凭借其120多年的真空制造经验和全球范围内的售后服务和技术支持赢得LOW-E市场客户的青睐，德国冯.阿登纳(VON ARDENNE)是最典型的客户。PFEIFFER 分子泵的LOE-E生产线使用在信义玻璃，南玻等中国玻璃制造巨头。

Pfeiffer 分子泵组应用于脉冲激光沉积系统

脉冲激光沉积（Pulsed Laser Deposition, PLD），是一种利用激光对物体进行轰击，然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上, 得到沉淀或者薄膜的一种手段. PLD 系统由多个真空腔体组成，整个系统需要超高真空且不能引入任何杂质，对环境的清洁度要求较高，必须配备无油干泵和分子泵抽真空。由于各个辅助腔体体积较小, 因此特别适合使用pfeiffer Hicube 系列分子泵组. 帕纳光电科技有限公司销售维修的 Pfeiffer 分子泵组因其结构紧凑体积小，清洁无油（前级泵配备干泵）、抽速快、极限真空度高达10-11mbar等优点一经上市好评如潮。