Hicube 真空泵组产品优点：

1. 涡轮分子泵和前级泵的结合；适合多种应用需求

2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求

3. 各部件配合简便，易于保养维修

4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统

5. “即插即用”-无需布线和安装

6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高

7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选.）可保护真空腔体免受返流影响

8. 可以直接连接真空计

由于目前对真空镀膜设备的清洁度，镀膜层的质量，所用材料等要求的不断提高，传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因，已经无法满足使用要求。因此，以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在全球分子泵领域一直处于主导地位。

转子的上下两级抽气单元制成一体的转子圆筒。泵的转速为20000~90000r/min。转子叶片顶端的圆周速度约为250~300m/s。因为转子叶片的速度越高则泵的性能越好。但是，受到转子圆筒的材料强度限制，一般常采用比强度高的铝合金或钛合金作转子圆筒，而泵壳则用不锈钢或铝合金制作。这种泵的特点是级数多，转速高、间隙小、精度高。