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专业真空镀膜机 多弧离子PVD镀膜设备供应商浙江驰诚品质保证
CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备产品介绍:
腔体结构: 立式前开门,卧式前开门,后置真空获得系统
材质用料: 腔体采用优质SUS304不锈钢材质
离子弧源: 依据设备大小不同配备多套弧电源系统
偏压电源: 配备大功率单级脉冲偏压电源
多弧靶材: 标配多套钛靶或不锈钢靶材
转动系统: 变频调速,公自转结合,可采用上传动或下传动方式
真空系统(装饰镀膜设备Decorative coating):扩散泵(可选分子泵)+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷系统(可选)
真空系统(超硬质工具镀膜Tooling coating):分子泵+罗茨泵+直联泵(进口)+维持泵+可选深冷泵
气体控制: 多路气体质量流量控制系统
加热系统: 装饰镀膜350℃温控PID可调可控制, 超硬质工具镀膜550℃温控PID可调可控。
智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面,实现逻辑全自动控制
报警及保护:异常情况进行报警,并执行相应保护措施。
其他技术参数:
极限真空: 5.0×10-4Pa
抽气速率: 5.0*10-2≤5min
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
备注:
一般规格:
Φ1000*H1200,Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm,
Φ1800mm*H2000mm, Φ2000mm*H2200mm
真空高温轴承在卧式蒸发真空镀膜机方面的应用:
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
我们详细介绍真空轴承在蒸发式真空镀膜机上的应用,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。
轴承安装部位如图片所示管轴的两端,内部数十个类似的安装单元。由于机体内温度较高,普通轴承难以承受数百摄氏度高温真空工作环境,油脂润滑、石墨润滑的轴承产品在高温真空环境内运转过程中会带来油脂和石墨粉尘的污染,同时轴承短时间报废,导致产品的生产不合格。
我司所设计此款高温轴承,结合实际工作环境,采用高温自润滑的工作方式;通过长期验证达到了寿命长,免维护,洁净度高,不会带来污染,由此保证该机的正常运转。产品安装更换简单,大大的提高了机器的运转时间和效率,减少了机器维护保养得次数和保养成本。
CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备放大图
CCZK-ION多弧离子PVD镀膜设备放大图
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订货须知:
一、真空镀膜机产品名称与型号② 真空镀膜机口径③ 真空镀膜机是否带附件以便我们的为您正确选型。
二、若已经由设计单位选定公司的真空镀膜机型号,请按真空镀膜机型号直接向我司销售部订购。
三、当使用的场合非常重要或环境比较复杂时,请您尽量提供设计图纸和详细参数,由我们的专家为您审核把关。
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由于市场原材料价格波动或供需变化,个别产品价格会有所变动,请以我们专业销售人员的报价为准对此带来的不便
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