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上海真空镀膜设备厂家驰诚​直销CCZK-RC真空卷绕镀膜机

CCZK-RC真空卷绕镀膜机产品介绍：

   真空腔室：卧式

　材质用料： 腔体均采用优质不锈钢

　真空系统：扩散泵（分子泵）+罗茨泵+机械泵+维持泵+深冷水汽捕集泵

　卷绕系统：采用6至10组辊子， 收卷辊、放卷辊、水冷辊各由一台电动机驱动；

　镀膜系统：根据产品可选择蒸发镀膜系统或磁控溅射镀膜系统。送丝机构含有坩埚、电极、水冷、送丝机、电源等。

　溅射靶材：磁控溅射可配1-4只平面铝靶或圆柱铝靶材；

　电源系统：配备大功率蒸发电源以及磁控溅射电源

　智能控制： PLC智能控制+HMI全彩人机触控界面，实现全自动控制

　报警及保护：异常情况进行报警，并执行相应保护措施。

其他技术参数：

   极限真空： 5.0×10-4Pa

　抽气速率： 5.0*10-2≤5min

　水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

备注：

   一般规格：Φ1000*H1200，Φ1400mm*H1600mm,Φ1200mm*H1500mm，

　真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做

真空镀膜机多片式比较片装置的设计特点：
   1)固定筒3 圆筒形状、大直径、厚壁结构的设计和周向对称的固定方式，可保证其有足够的强度和刚度，同时，还可阻止高温溅射磨料对其内部零部件污染，保证拨动盘15 转动的灵活性。
　2)圆形轴承座2 的设计，保证轴承座安装的密封性和垂直度；增大轴1 的直径尺寸，加大轴承座2 中两轴承的安装间距，提高其自身的强度和刚度，保证转动过程中轴1 的刚度和拨动盘15的旋转灵活性、位置重复的一致性。
　3)装载换位机构，通过扩大支承盘16 的直径，使该机构在平面方向的有效面积增大，可安装直径大(Φ26.5mm)的比较片，有利于光路调整，提高光学薄膜质量；比较片12 由单片玻璃作为一个比较片单元，比较片采用空间立体叠加安装方式，多片玻璃叠加安装在一个比较片存储筒13 内，实现一次可放置50~100 片比较片，解决镀膜机镀制多层精密光学薄膜，比较片数量少影响镀膜层数和精度的问题。
   4)查找盘6 与槽型光藕17 的配合，通过槽型光藕来感知查找盘上三个均分的120°狭缝，控制电机转动停止。轴1 旋转查找重复的一致性得到保证，带动拨动盘15 完成准确的拨片动作。
   5) 转动密封馈入机构引入威尔逊密封机构5，既保证电机9 通过齿轮啮合带动轴1 的灵活转动，又保证真空室对外部的密封作用。优化设计的真空镀膜机多片式比较片装置，其特点：(1)结构简单，强度高，可靠性好；(2)比较片装载数量大，生产效率提高，可镀制超多层精密光学薄膜；(3)比较片直径增大，提高薄膜监控的精度，降低对硬件系统的要求，系统容易实现自动控制；(4)维护保养费用低。
   通过对真空镀膜机多片式比较片装置的优化设计，保证了比较片机构拨片转动的灵活性和重复的一致性，解决了比较片有效面积小，光路调整不方便，光信号信噪比差的问题，又解决了比较片装载数量少的问题，可以使现有的真空镀膜机镀制光学薄膜的质量大大提高，并且30 层以上的光学薄膜得以镀制完成。实践证明此比较片结构是有用的，可以在现代的光学真空镀膜行业进行推广和实施。

                     CCZK-RC真空卷绕镀膜机

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