主要功能

    1.利用纳米级光学干涉技术为客户提供开发段制程参数化验证分析，节省开发成本，缩

      短开发周期

    2‧微/纳米级机电组件之尺寸量测及表面微观结构分析

    3‧材料表面失效分析、缺陷分析、微观截面轮廓比对等

    4‧摩擦学（摩擦磨损）以及腐蚀表面工程等研究

    5‧透明及半透明膜厚測試、曲率半径分析等

    6‧精細表面2D/3D表面粗糙度量測

主要量测参数

    1‧2D/3D表面粗糙度

    2‧微观表面轮廓分析

    3‧纳米级尺寸检测

    4‧缺陷分析