搭载了独有的格里诺（Greenough）光学系统，同时实现了大范围的变焦比和清晰的观察影像。灵活运用了格里诺光学系统的特性，机体线条流畅而小巧。能在生产流水线发挥威力的同时，也最适合与设备组装使用。
V字形光路使物镜的尖端形状能设计成细长形，也适合与设备组装使用。工作性能优越的小型机体诞生了。
实现了高度平直度和较深的焦点深度







最佳内向角的格里诺光学设计，使高度平直度和较深的焦点深度能同时实现。能从前面到内部正确对焦凹凸很大的样品，得到充满立体感的观察图像。
实现了忠实于样品的观察影像
自然的色彩再现功能，能够观察到样品原来的颜色。影像平面弯曲的抑制，能更为逼真的观察到样品的形状。此外，变焦比为6.7（0.67倍～4.5倍）［SZ61］,5（0.8倍～4倍）［SZ51］，性能卓越。
对应ESD，防止器件受到静电影响
机体和主要附件涂以防静电材料，能够快速去除静电。这样就能够防止静电破坏样品。
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