JTA-太阳能硅片清洗机

尺寸：9040 x 1500 x 2900

槽数：5

振子：60

功率：5 x 8 =40KW

震动方式：底震，侧震

加工方式：机械臂式

可按客户要求定制

联系电话：0755-89564116 18566257231吴经理

适用于2"-8"基片的半导体清洗工艺中,有效去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元，各部分有独立控制，随意组合;可根据用户要求配置氮气枪、DI水枪、恒温水浴、热台、超声清洗、DI水在线加热装置、DI水电导率测试仪器等。设备结构紧凑，净化占地面积小，造型美观、实用，操作符合人机工程原理。