深圳市巨石传感技术有限公司是专注于MEMS传感器及其相关应用技术的高科技公司。公司主要产品为MEMS 压力，温度及温湿度传感器，产品广范应用于各类工业，医疗，民用，汽车，航模等领域。公司的MEMS传感器具有宽工作温度范围（－55 度－＋350度）及高精度0.01%等行业内领先的性能指标，是国内少有的具有自主研发MEMS传感器能力的高科技公司。欢迎了解咨询！

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 MEMS可以用类似集成电路的设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单、易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如MEMS压力传感器那样，像集成电路那么微小，而且成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，相对于传统“机械”制造技术，其性价比大幅度提高。

MEMS压力传感器原理

　　目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。

硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。其电原理如图1所示。硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。