帕纳光电是德国莱宝，德国普发，英国爱德华，法国阿尔卡特，日本精工，大阪，岛津及意大利的瓦里安的 代理商，在真空领域实力非凡。帕纳光电能维修Leybold最早期的TMP450,TMP1500及TMP3500，中期的35LS，TMP50，TMP150，TMP361，TMP600，TMP1000，TMP1100及TMP1600，中晚期的Tw70,TW250S,TW300,TW700,TW701,磁悬浮的MAG340，MAG400等，数目众多，不一一列举。

阿尔卡特高真空技术有限公司生产的复合式分子泵。该产品具有抽速大，处理气体流量能力强，稳定性高等特点，且使用方便。

优点：

l 建构紧凑；

l 高强度设计，运行稳定性高；实现了无工艺污染，低噪音及低振动。

l 转速可调从而优化工艺过程。

l 任意角度安装。

l 可以提高抽速，并允许非常高的排气压力，大大降低了对前级泵的要求，节约了前级泵的成本。

应用于 玻璃镀膜、溅射镀膜、太阳能光伏、 平板显示器、研发等多个行业。

 

 

应用金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）电子回旋共振(ECR)刻蚀薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD溅射离子注入源，射束线泵送端点站MBE扩散光致抗蚀剂脱模晶体/晶膜生长晶片检查负载锁真空腔科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜高能物理：射束线、加速器放射线应用：融合系统、回旋功能和优势