高精度电涡流传感器SMT-9700精密打磨

在控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须地在能源的焦平面上。Kaman系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。

目标

     1 控制高精度磨床伺服系统的位置

     2 保持磨轮的位置在纳米的距离内（即和成品距离在纳米级）

     3 测量环境中有污染物，例如机器油之类的。

解决方案

     传感器位于磨床上端（如图所示）监测转动轴的径向位置。双极性的模拟输出信号表明了磨轮的相对于地面部分的位置。通过闭环反馈系统，传感器的信号直接控制磨床的位置。

注：Force applied to workpiece causes spindle deflection :对加工件的作用力导致轴轴向偏差

      High speed motor 60000 to 100000 RPM : 高速旋转电动机，60000 到100000 转/秒。

      Workpiece：加工片

      Quill / Grinding wheel : 磨轮

      Pivot：支点

      Actuator for positioning of grinding quill ：为打磨轴定位的激励

      Processor : 处理器

      Controller ： 控制器

高精度电涡流传感器特点

     1 类型：SMT-9700高精度电涡流传感器

     2 非接触性: 应用涡电流技术，传感器无需接触就可以测量目标物体的位置。整个系统不需移动，是一个非常稳定的系统。

     3 高灵敏性：系统的灵敏度为 0.1微米/毫伏，从而可以控制磨轮的位置。

     4 用户自定义设计：微密封处理装置可以保护传感器的外表机器油或者冷冻剂的污染。SMU-9000-6UI 型号的传感器包含有完整的电路，这种结构排除了一般电子传感器：传感器—电缆这种连接结构，从而降低了系统被环境污染的可能性。

高精度电涡流传感器特点

     1 类型：SMT-9700

     2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

     3 高分辨率：系统可分辨出1纳米的位置改变。

     4 可重复使用。

     5 应用广泛。

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