高精度电涡流传感器SMT-9700精密厚度测量
高精度电涡流传感器解决方案
在控制Z轴高度的过程中，晶片所在的位置必须地在能源的焦平面上。Kaman系统可以准确测量Z轴的位置，并且提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出可承受范围。
KAMAN 高精度电涡流传感器测量系统采用涡流传感器对被测物体进行高精度的厚度测量。根据被测目标物体的性质不同，系统采取两种不同的测量方案。
导体厚度测量
系统采用两只涡流传感器的探头，放置在被测目标物体的两侧。当传感器工作时，由于涡流作用，传感器探头分别获取从探头表面到对应侧的物体表面，然后经过微处理器做信号处理，从而得到被测物体的厚度
非导体厚度测量
由于一般被测的非导体材料不透光，因此单一的涡流传感器和单一的激光传感器均不能独立完成测量。因此，我们采取两种传感器结合的方式。首先，选择一个金属感应面（铝合金，不锈钢均可，在金属平板的上方安装涡流和激光综合传感器。将被测物体板放置在传感器和金属感应面之间，涡流和激光传感器分别测出传感器到陶瓷板和金属平面相接触的下表面距离S1和高精度电涡流传感器到陶瓷板上表面距离S2。则被测陶瓷板材料的厚度为C=S1-S2。 涡流传感器的主要作用是事实测量陶瓷下表面距离传感器的距离，这样以防止任何其他的因素所带来的影响
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