金属单质及部分合金靶材：铝靶Al，银靶Ag，金靶Au，钴靶Co，铬靶 Cr，铜靶Cu，镍靶Ni， 钛靶Ti，锌靶Zn，镁靶Mg，铌靶Nb，锡靶Sn，铟靶In，铁靶Fe 锆靶Zr 铂靶Pt 钽靶Ta 锗靶Ge 硅靶Si 钨靶 W铪靶 Hf钆靶Gd 钐靶Sm，镝靶Dy，铈靶Ce，钇靶Y，镧靶La，铼靶Re，钌靶Ru， 钯靶Pd，铑靶Rh，铋靶Bi，钛铝Ti-Al、铝硅Al-Si、铝铜Al-Cu、铝钛Al-Ti、银铜Ag-Cu、铝镁Al -Mg、钴铁硼Co-Fe-B、铜铟镓Cu-In-Ga、铁锰Fe-Mn、铟锡In-Sn、钴铁Co-Fe、镍钴Ni-Co、镍铁 Ni-Fe、镍铬Ni-Cr、镍锆Ni-Zr、镍铝Ni-Al、镍铜Ni-Cu、镍钒Ni-V、钨钛W-Ti、锌铝Zn-Al、铝 钛硼Al-Ti-B、铝钪Al-Sc、钒铝 V-Al、铁V-Al-Fe、铜锡Cu-Sn、锆铝Zr-Al、钒铝V-Al、硼铁 B-Fe等 陶瓷靶材：氮化硅靶Si3N4、氮化铝靶AIN，氮化硼靶BN，氮化铬靶材CrN，氮化锆靶ZrN，氮化钛 靶TiN，碲化镉靶CdTe，二硅化钼靶MoSi2二硫化钼MoS2，二硼化锆靶ZrB2，二硼化钛靶TiO2，二 氧化锆靶ZrO2，二氧化硅靶SiO2，二氧化锰MnO2，二氧化铈靶CeO2，二氧化钛靶TiO2，二氧化锡 靶SnO2，氟化钡靶BaF2，氟化钙靶CaF2，氟化铝靶AlF3，氟化镁靶MgF2，氟化铈靶CeF2，硫化镉 靶CdS，硫化亚铜Cu2S，硫化锌靶ZnS，硼靶B，硼化铪靶HfB2，三氧化二铬靶Cr2O3，三氧化二锰 Mn2O3，三氧化钨靶WO3，钛酸钡靶BaTiO3，钛酸镨靶PrTiO3，石墨靶C，碳化锆靶ZrC，碳化铬靶 Cr3C2，碳化硅靶SiC，碳化铪靶HfC，碳化硼靶B4C，碳化钛靶TiC，碳化钨靶W2C，五氧化二铌靶 Nb2O5，氧化铒靶Er2O3，氧化钴靶CoO，氧化铪靶HfO2，氧化镓靶Ca2O3，氧化钪靶Sc2O3，氧化 铝靶Al2O3，氧化镁靶MgO，氧化镍靶NiO，氧化钕靶Nd2O3，氧化钽靶Ta2O5，氧化铁靶Fe2O3，氧 化铜靶CuO，氧化锌靶ZnO，氧化钇靶Y2O3，氧化铟靶In2O3，ITO靶（In2O3＋SnO2），AZO靶 （ZnO＋AL203），LGZO靶 | 
