氦质谱检漏仪
代理德国 Pfeiffer 多功能多用途氦质谱检漏仪 成功应用于中科院某研究所 PECVD 检漏。
PECVD：( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
等离子体增强化学气相沉积法
)是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使
化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)。
：PECVD 工作环境需要两个必要条件：低温和真空。可以通过上海伯东德国 Pfeiffer 机械泵 和分子泵 联用获得稳定的高真空。由于 PECVD 结构复杂，组成部分较多，各组件通过各种法兰接口连接，当长时间运行时可能造成接口或管路松动，导致真空度抽不下来，影响沉积薄膜的质量，这时就需要通过来排查漏点。常规的如涂肥皂水等方法，耗时耗力且精度低，容易受操作人员干扰，所以利用的排查方法越来越广泛使用。
PECVD 检漏方法：采用检漏仪的真空法进行检漏，对怀疑有漏的地方喷氦气，如果检漏仪报警，则表明此处有漏！上海伯东客户中科院某研究所目前现有多台旧款 检漏仪，因为设备增加，在经过工程师推荐后采购检漏仪 ASM 340。
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