陶瓷激光微孔加工机床 精密微孔加工 费米供
激光精密微孔加工相比电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，具有以下优点：
高速（最高每秒4000孔）
高精度（＜3μm）
无材料限制（金属、陶瓷、硅片、有机物等等）
孔型可编程（最小5μm、特定锥度孔）
分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，无需模具和掩膜
无污染无耗材
直接加工
费米激光提供的激光微孔加工机床，最小加工微孔孔径（线宽）5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。
主要用于：半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、精密仪器仪表微孔。
主要特点：
1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级热影响区；
2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现最高15m/s高速小幅面精密加工；
3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微加工；
4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足立体结构蚀刻要求；
5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线线宽测量，保证系统长期使用稳定性和精度；
6.在线检测激光加工的效果，快速优化加工工艺；
7.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。
设备参数
参数 FM-MicroDrilling-UV3
最小光斑 5μm
系统加工精度 ±4μm
重复精度 ≤±1μm
加工范围（XYZ） 300mm*300mm*50mm
最小加工通孔出孔 1μm
最大深宽比 ＞20:1
加工材料 玻璃、金属、、陶瓷、有机物
冷却 水冷（1500W制冷量）
吸尘 三重粉尘净化
电力 220V 50~60Hz
功耗 ≤2000W
尺寸 850*1500*1800mm
重量 1200Kg
【注】恒温（25±0.5℃），预热30分钟之后获得
上海费米激光科技有限公司为客户提供1~500微米特征线宽的精密微孔、精密蚀刻、精密切割、精密成型等激光解决方案。加工幅面300*300mm以上，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜2μm。
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