直线光栅 |
ATOM |
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| | ATOM直线光栅系统提供两种类型的栅尺 | | | 客户可以选择RTLF不锈钢钢带栅尺或RCLC玻璃栅尺 | | | RTLF栅尺最长可至10 m,精度可达±5 µm/m | | | RCLC栅尺最长可至130 mm,总体精度可达±3 µm | |
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概述 |
ATOM增量式直线光栅将微型化与优异的抗污能力、信号稳定性和可靠性完美结合。这一结合在市场中是独树一帜的,代表了微型光栅性能和可靠性的重大进步。 ATOM是世界上第一款具有独特光学滤波系统及自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 功能的微型光栅(这些系统与功能同样可在TONiC™紧凑型光栅系列中找到),拥有无可比拟的测量性能和一流的测量精度。 ATOM读数头的工作速度可达20 m/s,分辨率可达1 nm。 雷尼绍提供一系列不锈钢和玻璃直线栅尺,客户可选择40 µm或20 µm栅距。 |
选项 |
ATOM RTLF增量式直线栅尺 |
RTLF不锈钢钢带栅尺最长可达10 m,提供20 µm和40 µm两种栅距 栅尺为自粘式,提供标准或高精度两种类型 总体精度可达±5 µm/m,无可比拟 对于长度超过100 mm的栅尺,参考零位间距50 mm,可采用移除法自由选择所需零位 截面尺寸仅为0.41 mm x 8 mm,包括不干胶带 RTLF栅尺可以成卷供货,便于存储。 |
ATOM RCLC增量式直线栅尺 |
RCLC玻璃栅尺提供20 µm和40 µm两种栅距,最长可达130 mm,采用粘贴安装方式 总体精度为±3 µm 热膨胀系数低,为~8 µm/m/ºC 两个参考零位,分别位于栅尺中点和栅尺行程终点;允许读数头沿两个方向进行测量,极大提高灵活性 |
技术 |
红外 (IR) 发光二极管将光线射到栅尺上,它是一种栅距为20 µm或40 µm的平面反射光栅。栅尺均匀且周期性好,这一点非常重要,但不要求其为优质的衍射光栅。 参考零位为一道亮线,沿着增量栅尺码道刻划,它由读数头内部单独的分离式光电检测器进行检测。ATOM使用与雷尼绍TONiC光栅相同的光学原理,但是入射的红外光束从增量栅尺/参考码道反射后被分成两束,这样做的目的是尽量减少系统占用空间。 内部光学器件采用对多个光栅周期进行平均的技术,有效滤除脏污和油脂等引起的非周期性特征。名义方波光栅条纹也被滤去,以在光电探测器上留下一个完美的正弦波形,这将产生4个对称相位信号形式的光电流。这些结合在一起可免去DC器件,并可输出具有高光谱纯度和低偏置值的正交正弦和余弦信号,同时保持高达500 kHz的带宽。 通过主动调节增量通道增益、偏置量以及对ATOM读数头内的LED光源进行控制,可使这些信号的平衡和电平控制进一步得到增强。因此,固有周期误差(电子细分误差,SDE)可以低至栅尺刻划周期的0.375%。 通过应用合适的电平感应和门控电路,ATOM提供的参考零位输出的双向重复性均可达到可用的系统分辨率。安装后,相应的模拟通道的相位校准通过读数头内的逻辑自动执行,并提供全面的系统监控和安装帮助。 |
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