激光打孔小孔径 微孔加工蚀刻 费米供

激光打孔小孔径，对于给定的系统，跟材料和工艺相关，一般等效认为是小激光聚焦光斑，商用系统一般在几十个光波长，如1064nm,一般在30μm左右，可以做到几个μm，但是系统复杂。

费米激光提供的激光微孔加工设备，小加工微孔孔径5μm（根据特定要求可定制其他尺寸），整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。

主要用于：微电子器件制造、印刷模板制备、生物芯片制备、精密模具成型、仪器仪表精密零件制造

主要特点：

1.采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级孔径，μm级热影响区；

2.通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现高速小幅面精密微孔加工；

3.通过微米级高速直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微孔加工；

4. Z轴电动可调，以适应不同厚度材料，满足特定锥度孔加工要求；

5.旁轴超分辨率工业相机用于振镜全幅面误差校正、超高精度的对焦、以及在线测量，保证系统长期使用稳定性和精度；

6.系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；

7.小加工微孔孔径5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm；

8.用于金属、陶瓷、硅片、玻璃、有机物等材料精密盲孔、通孔、开槽、切割加工等。

设备参数 

类别  参数  FM-MircoDrilling-5  FM- MircoDrilling-10

小光斑  5μm 

系统加工精度  ±4μm 

重复精度  ≤±1μm 

加工范围 300mm*300mm*50mm

孔精度 ＜3μm 

小加工通孔出孔  1μm 

大深宽比  ＞20:1  ＞30:1 

加工材料  玻璃、金属、蓝宝石、陶瓷、有机物 

冷却  水冷（1500W制冷量） 

吸尘  三重粉尘净化 

电力  220V 50~60Hz 

功耗  ≤2000W 

尺寸  850*1500*1800mm 

重量  1200Kg 

【注】恒温（25±0.5℃），预热30分钟之后获得 

上海费米激光科技有限公司为客户提供1~500微米特征线宽的精密微孔、精密蚀刻、精密切割、精密成型等激光解决方案。加工幅面300*300mm以上，整体加工精度高±2μm，局部特征精度＜2μm，金属、陶瓷、蓝宝石、有机物、玻璃等等均可加工。