美国Honeywell 霍尼韦尔Zephyr™模拟式气体质量流量传感器 HAF系列-高精度±50 SCCM - ±750 SCCM
霍尼韦尔Zephyr™ HAF系列传感器在指定的满量程和补偿温度范围内提供一个模拟接口读取气体流量。这些传感器的绝热加热器和感温元件促使它们对空气或气流做出快递响应。
Zephyr传感器设计用于测量空气或其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量测量范围为 ±50, ±100, ±200, ±400或 ±750 SCCM。也可提供定制的流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路（ASIC）进行全面的校准和温度补偿。
HAF系列在0℃至50℃（32℉至122℉）的温度范围内进行温度补偿，在-20℃至 70℃（-4℉至158℉）的温度范围内工作。最先进的基于ASIC的补偿方式可在1毫秒响应时间内提供模拟输出。
这些传感器利用热传递原理来测量气流的质量流量 。它们由一个微桥型“微电子和微机电系统”（MEMS）组成，其热敏电阻是由铂和氮化硅薄膜沉积而成的。MEMS传感芯片位于精密设计的气流通道中，能提供重复性好的气流响应。
Zephyr传感器可靠性更好，精度更高，重复性好，还可根据客户特殊需求提供定制的传感器选项，满足许多特定的应用需求。其外壳坚固，基底稳定，因此非常坚固耐用。它们都是按照ISO 9001标准设计和制造的。
特点和优点● 快速响应时间● 宽流量测量范围● 可定制的流量范围和可配置的封装类型● 全面校准和温度补偿● 线性输出● 低压降● 0.049%FS 分辨率● 3.3 VDC低工作电压选择和低功耗● 小尺寸● 采用复合ROHS 标准的材料
潜在应用● 医疗 麻醉机 心室辅助装置（心脏泵） 喷雾器 氧浓缩器 监护系统 (呼吸系统) 睡眠呼吸机 肺活量计 呼吸设备 腹腔镜检查● 工业 空气-燃料比 燃烧电池 气体泄漏检测 暖通空调系统（HVAC）上的变风量（VAV）系列 煤气表 HVAC过滤器
绝对最大额定值
工作特征参数
环境特性
湿材料
