霍尼韦尔 ZephyrTM
数字式气体质量流量传感器
HAF系列-高精度
10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM

霍尼韦尔 ZephyrTM 数字式气体质量流量传感器：HAF 系列高精度型气体质量流量传感器在指定的满量程和补偿温度范围内提供一个数字接口读取气体流量。它们的绝热加热器和温度感应元件有助于这些传感器对空气或其他气流做出快速响应。

Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。标准流量测量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，也可提供定制的流量范围。这些传感器利用电路板上的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。

10 SLPM 以上的 HAF 系列在 0 ℃到 50 ℃ [32 ℉到 122 ℉] 的温度范围内进行了补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿方式可在 1 毫秒响应时间内提供数字 (I2C) 输出。

这些传感器根据热传递原理工作，用于测量空气流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成，带有对温度敏感的电阻器，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。微机电系统 MEM 的传感芯片位于精密设计的气流通道中，能提供重复性好的气流响应。

Zephyr 传感器可靠性更好、精度更高、重复性好，还可根据客户特殊需求提供定制的传感器选项，满足许多特定的应用需求。其外壳坚固，基底稳定，因此非常坚固耐用。它们都是按照 ISO 9001 标准设计和制造的。

特点与优势
● 的测量可程度地提高性能
   总误差带（TEB）
   高精度
   响应速度快（1 毫秒）
   稳定性高
   小流量时也具有很高的灵敏度
   12 位高分辨率
● 简化设计和集成过程，并降低成本
   流量测量范围广
   多种端口类型可选
   线性输出
   电源电压范围宽 [3 VDC 到 10 VDC]
   基于 ASIC 的 I2C 数字输出
   可针对多种气体类型进行出厂或定制校准
   采用符合 ROHS 标准的材料

潜在应用
● 医疗
   麻醉机
   呼吸机
   心室辅助装置（心脏泵）
   肺活量计
   腹腔镜检查
● 工业
   分析仪器（光谱仪、色谱仪）
   空气燃料比
   燃料电池
   通风柜
   气体泄漏检测
   过程控制气体监控
   真空泵监控

绝对额定值

工作特征参数

工作参数


环境参数


材料参数
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