光发射显微镜 光发射显微镜是器件分析过程中针对漏电失效模式，必不可少的分析工具。器件在设计、生产制造过程中有绝缘缺陷，或者期间经过外界静电击穿，均会造成器件漏电失效。漏电失效模式的器件在通电得状态下，内部形成流动电流，漏电位置的电子会发生迁移，形成电能向光能的转化，即电能以光能的方式释放，从而形成200nm~1700nm红外线。光发射显微镜主要利用红外线侦测器，通过红外显微镜探测到这些释放出来的红外线，从而精准的定位到器件的漏电点。我司推出的P-100光发射显微镜(EMMI),在同业中具有超高的性价比,并凭借良好的售后服务,迅速占领市场.目前大中国地区的知名失效分析客户有: 上海宜硕、深圳宜智发、上海闳康、上海矾诠、广州五所、北京电科院、东南大学、乐山菲尼克斯、深圳明微。。。。。。 Junction Leakage Oxide Leakage ESD Damage Avalanche-20x Backside Image Poly Filaments Backside Observation System Items Specification camera Cooling CCD Camera Cooling Silicon CCD -65 ℃ ",Forced Air +4 stage Peltier Cooling Pixelsize 24umx24um Resoluiion 512 x512 High QE UV~NIR QE At 1000nm >=20% Dual Read Out Mode Fast Scan Mode 2.5MHZ /Pixel Slow Scan Mode (High Sensitivity) 0.156MHz/Pixel Dark Current <=0.17 electron/pixel/s Readout noise 7 electron(r.m.s) Dynamic range 32875:1 A/D Converter 16 bit Readout/control Interface IEEE 1394 Exposure Time 20ms~7200s Contrast enhancement Max 16 x Microscope High Presicion Motorized XYZStage Stage Resolution 0.1um Accuracy ±1um X Stroke (Moving Range) >50mm Y Stroke(Moving Range >30 mm Z Stroke >100mm Motorized Lens Changer With Optics 4 holes/RS232 Control Interface Light Box Dual Light Source(Visible ,NIR)Auto Switch NIR Light Transmission >70% NIR Lens 2.5x,5x,20x,100x Eyepieces 10x Control Console X/Y/Z/Lens Change/Light Adjust Auto Lens Alighment Accuracy<5um Pattern/Emission Optics Switch InGaAs camera 冷却方式 侦测波长范围 解析度 320*256（软件能力640*512） QE Range QE@1300nm>70% Pixel Size 30um*30um High Gain Dark Box With Inteligent Temperature Control Light High Stable Anti-Vibration Table
Composition
Axis Correction Screws For Each
Lens Positioncooling down to -70摄氏度 900～1700nm >300sec
Anti-Vinration
Table
Shiled Dark Box
