电涡流传感器 电涡流位移传感器 涡流位移传感器 电涡流 DIT5200差动电涡流位置传感器
两个匹配的电涡流传感器被放置在被测物平台两侧,这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端,这个结构提供了极好的线性和热稳定性,所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。具有高分辨率、高灵敏度,使用于被测材料为铝、铜等导电材料;有单、双通道配置;
应用领域
应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。如激光反射镜聚焦平台定位,望远镜定位,磁悬浮轴定位。
主要特点
埃米级分辨率;
频响: 0~22KHz;
线性度:±0.1~1%;
量程:±0.25mm /±1.915mm;
高灵敏度,最高394mV/μm;
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
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技术规格:
型号 | DIT5200 |
传感器 | 15N | 20N | 15N | 20N | 15N | 20N | 20N |
量程mm | ±0.25 | ±0.25 | ±0.51 | ±0.51 | ±0.89 | ±1.27 | ±1.91 |
安装间隙mm | 0.38 | 0.51 | 0.64 | 1.02 | 1.02 | 1.52 | 2.16 |
线性度%FR | ±0.15 | ±0.1 | ±0.25 | ±0.15 | ±0.5 | ±0.25 | ±0.5 |
最大线性度%FR | ±0.3 | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.5 | ±1 |
传感器温度系数%FR/℃ | 0.02 | 0.02 | 0.03 | 0.02 | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
分辨率(带宽1KHz,FR)%FR | 0.015 | 0.025 | 0.008 | 0.015 | 0.005 | 0.008 | 0.005 |
分辨率(带宽1KHz,安装间隙)%FR | 0.004 | 0.005 | 0.002 | 0.005 | 0.003 | 0.003 | 0.002 |
双通道编号 | 854924-003 | 854925-002 | 854924-004 | 854925-003 | 854924-005 | 854925-004 | 854925-005 |
被测材料 | 铝 |
输出电压V | ±10 |
功率mW | 传感器头(15N):<0.5,传感器头(20N):<2,前置器:<1.35W |
频响KHz | 0~20 |
输入电压V | ±15 |
输出电阻Ω | <1 |
重量g | 前置器:170.1,W/4 15N传感器:226.8 |
工作温度℃ | 前置器:0~+60,传感器:-52~+105 |
储存温度℃ | 前置器:-32~+82,传感器:-52~+105 |
备注:满量程(FR)被视为两倍的±量程值。 |