工厂低价转让 一台 日本日立品牌 FT9500/9300模厚测试仪
技术参数:
型号 | FT9500 | FT9550 | FT9500L |
测量元素 | Al(13)~Bi(83) |
X射线源 | 管电压:50(可变更)kV 管电流: 10~1000 μA |
检测器 | 半导体检测器(无需液氮) |
X射线聚光 | 聚光导管方式 |
样品观察 | CCD摄像头(带变焦功能) |
对焦 | 激光对焦 |
滤波器 | 一次滤波器:3个位置(自动切换) |
样品区域 | X:240mm, Y:175mm X:220mm, Y:150mm, Z:150mm | X:420mm, Y:330mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm | X:840mm, Y:540mm X:400mm, Y:300mm, Z:50mm |
测量软件 | 薄膜FP法(最大5层、10种元素)、检量线法、块体FP法(材料组成分析) |
安全功能 | 样品门联锁 |
1.
薄膜及多层膜测量通过采用新型的毛细管(X射线聚光系统)和X射线源,把与以往机型FT9500同等强度的X射线聚集在30 μmΦ的极微小范围。因此,不会改变测量精度即可测量几十微米等级的微小范围。
同时,也可对几十纳米等级的Au/Pd/Ni/Cu多镀层的各层膜厚进行高精度测量。
2.
异物分析通过高能量微小光束和高计数率检测器的组合,可进行微小异物的定性分析。利用CCD摄像头选定样品的异物部分并照射X射线,通过与正常部分的能谱差进行异物的定性分析(Al~U)。
3.
数据编辑功能配备了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配备了统计处理软件,可以进行测量数据、平均值、最大/最小值、C.V.值、Cpk等的统计处理。 另外,通过Microsoft Word可以简单的制作包含了样品画图的测量报告书。
4.
高强度照射通过高强度照射在微小部分也可以鲜明的观察、聚焦位置。
5.
样品工作台配备等同与FT9550X的大型样品台,能够对大型线路板等样品进行整体排列测量对应。
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