工厂低价转让 8-9成新日本创技SPEEDFAM 16B 24B 28B 双面抛光机/研磨机

一．设备用途及特点

本机是针对蓝宝石抛光研磨、铝片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。

工艺而开发的新一代研磨设备，也可用于其它硬脆材料的双面高精度抛光。

二．设备特点

1.本机太阳轮、齿圈采用销齿结构，游轮寿命长，维护清理方便。

2.该机具有下盘转速、上盘转速、太阳轮转速单独分别设定功能（速度、方向），方便用户工艺设定(齿圈与下盘转速机械配比联动,也可选配单独拖动)。

3．本机下盘支撑采用大直径结构轴承，承载力大，采用电气比例阀、精密减压阀控制压力，压力控制精确。

4．本机为内齿圈单独升降方式，升降距离可在行程范围内（35mm）任意调节，极限位置由行程开关控制。

5.本机采用高档可编程控制器(PLC)控制。 可编程终端(PT)显示并设定各项工作参数及工作状态，可由用户设定存储多套不同的工艺参数（压力、时间、速度），以供操作工调用；操控逻辑及界面显示可根据客户需求配置设计；具有下盘、上盘、太阳轮寸动功能，方便取放片。

7.本机整体为龙门式结构，支撑刚度好；上盘上升到最高位置后保险挂钩自动锁定上盘系统，并且提供了手动安全吊链和安全支撑，保证了安全可靠。

8.本机配备有集中润滑装置，可对机器的各个运动部位进行自动润滑。

9.本机可选配安装测厚仪。

二、设备主要技术参数：

1.上下盘尺寸：φ1300×φ740×60

2.齿圈参数：  Z=264    PCD=φ1320     

3.太阳轮参数：Z=132    PCD=φ660      

4.游星轮参数：Z=66     PCD=φ480      

5.游星轮个数：5个

6.最大加载压力：          800Kgf

7.主电机（下盘、内齿圈）  15Kw         1450rpm

8.上盘驱动电机            7.5Kw        1450rpm

9.太阳轮驱动电机          2.2Kw        1440rpm

10.抬升电机：              0.75kW       1390rpm 

11.下抛光盘转速:           0～60rpm

12.上盘转速：              0～25rpm

13.太阳轮转速:             0～20rpm

14.外形尺寸（长×宽×高）： 2700mm×1950mm×2780mm

15.设备质量：              7500Kg

四．设备安装使用环境

设备应安装在地面平坦，远离振动源，无灰尘烟雾污染的场所。

1．工作温度：                  15℃-25℃

2．气源：                      0.4-0.6MPa （干燥无油）  

3．相对湿度                    ≦80%

4．电源：                      AC380V，50Hz (三相五线制)

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