应用领域：
CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉）广泛适用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理。
主要特点：
CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉）采用高纯石英管或刚玉管作为内炉膛。可拆卸式的三面密封方式，具有良好的洁净度和真空度；耐火，保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、能耗低； CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉）加热元件采用U型硅铝(碳)棒或原装进口电阻丝；温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。
技术指标：
设备型号 | CVD（D）-06/60/3 | CVD（Z）-06/30/1 | CVD（G）-07/50/2 | CVD（G）-09/50/1 |
最高温度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ |
使用温度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
温区个数 | 3个 | 1个 | 2个 | 1个 |
加热区长度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm |
炉管尺寸 | ф60（外径）×1400（mm） | ф60（外径）×1000（mm） | ф70（外径）×1450（mm） | ф90（外径）×1450（mm） |
炉管材料 | 石英管 | 刚玉管 | 刚玉管 | 刚玉管 |
发热元件 | 进口电阻丝 | 电阻丝/硅碳棒 | 硅钼棒、电阻丝 | 硅钼棒 |
最大装机功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw |
CVD-□□□ 选件功能 | /□ | /□ | |
V | | 真空系列：单级机械泵+扩散泵机组 |
| Q | 气氛系统：浮子流量计；进口/国产质量流量计 |
备注： CVD系列真空气氛管式炉(电炉、工业电炉、实验电炉、高温电炉、热处理工业电炉）以上设备系统具备冷态极限真空6.67×10-2Pa接口条件；其他特殊工艺要求的订货时请说明。 具体价格根据工艺要求不同面议 具体详细参数请参照合肥日新高温有限公司企业门户网站： www.risine.com
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