涡电流传感器 磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的微量位移测量
应用背景：
在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器，解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题，可实现高精度微运动。
在微驱动器的设计制造阶段，对运动精度标定和验证是一个必要的环节。
解决方案：
KD-2306涡电流传感器，采用非接触式测量，分辨率可以达到0.1μm。
涡电流传感器工作原理：
涡电流传感器探头里由小型线圈，由控制器控制产生震荡电磁场，当接近被测体时，被测体表面会产生感应电流，而产生反向的电磁场。 这时电涡流传感器根据反向电磁场的强度来判断与被测体之间的距离。
涡电流传感器应用领域：
可应用于金属材料精密位移，长度、宽度、高度、厚度、圆度等尺寸，变形，振动等。
涡电流传感器主要特点：
分辨率为0.1μm；
标准频率50KHZ（可订制更高频率）；
可自行调整零位、增益和线性。
可选择延长电缆、温度补偿等功能。
输出为0～５V，0～10V，±5V或4～20mA；
供电为+15～+30V；
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