罗茨泵的特点:
1.转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,互不接触,不需要用油润滑。
2.转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。
3.泵工作时振动小,容积大,容积利用系数=0.5左右。
4.在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。
5.启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。
6.罗茨泵在很宽的压力范围内(1000Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵(1000Pa~1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它最适合作增压泵用。
泵由泵体、高转子、低转子、前端板、后端板、高转片、低转片、排气阀、排气罩、视镜等零部件组成。在泵体内压入一个中隔板、将泵壳分成高低真空室,各室都有排气门,高真空室排气与低真空室进气相通。高转子前端伸出前轴;后端伸出后轴。前轴通过前端板的轴承支持、经过油密封室而伸出前端板外:后轴由中隔板上的轴承支持。而伸入低真空室内,低真空室转子则装在后轴上、故高低转子均由前轴带动。高低转子都有对开的槽子,呈“T”形的旋片由弹簧开而装于槽内。泵的进气口处有过滤网,而排气口处有挡油网,视镜左边有掺气阀,下边有放油塞。
华泵真空泵的特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。