
INFICON SKY电容膜片真空计 INFICON SKY CDG160D 1 ... 1000 乇 / 毫巴INFICON SKY电容膜片真空计 INFICON SKY CDG200D 1 ... 1000 乇 / 毫巴
INFICON SKY CDG160D 和CDG200D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度控制在 160 °C-200°C下温度控制的,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 托至 1000 托满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10V、不受气体类型限制的线性压力信号。 INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
益处:典型应用:用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
新闻:配备 EtherCAT 数字接口现在可用!

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