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INFICON B-A型真空计BAG402 ,中真空至超高真空真空计:
INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402,测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性 和长使用寿命。
益处:测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
过压检测保护,防止灯丝烧毁
两根长寿命氧化铱灯丝
发射电流选择,降低控制的繁琐
植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换
符合RoHS
典型应用:半导体工艺和传送腔室的压强测量
工业镀膜
从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制
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