CS300数字质量流量计/质量流量控制器

          CS300数字质量流量计/质量流量控制器，该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准，相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。

用途
质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。

特点
1、压力不敏感功能；
2、数字化，全金属密封，高质量内表面处理（5u inch）；
3、最小满量程1sccm；
4、高精度：±0.8% 设定点（(≥30% F.S.)，±0.24% F.S.(5%～30% F.S.)；
5、DeviceNet通讯，IGS安装方式。

核心技术指标
1、数字模拟信号兼容；
2、   精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；
3、响应时间：  ≤0.8sec(≤0.5sec);
4、零点漂移：<0.6%F.S/年;
5、流量规格：1sccm-30slm;
6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V;
7、EMC 抗电磁干扰：CE。

应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

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