CS300数字质量流量计/质量流量控制器
CS300数字质量流量计/质量流量控制器,该产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对模拟产品有使用便捷、可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等诸多优点。


用途
质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、压力不敏感功能;
2、数字化,全金属密封,高质量内表面处理(5u inch);
3、最小满量程1sccm;
4、高精度:±0.8% 设定点((≥30% F.S.),±0.24% F.S.(5%~30% F.S.);
5、DeviceNet通讯,IGS安装方式。
核心技术指标
1、数字模拟信号兼容;
2、 精度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.);
3、响应时间: ≤0.8sec(≤0.5sec);
4、零点漂移:<0.6%F.S/年;
5、流量规格:1sccm-30slm;
6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V;
7、EMC 抗电磁干扰:CE。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。






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