随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,
、水环式真空泵工作过程中水环式真空泵需要外接冷却水,工作介质传递能量的过程是:在吸气过程中,工作介质在叶轮的推动下增加运动速度(因而也从叶轮那里获得动能),并从叶轮中流出,同时从吸气口吸人气体;在压缩过程中,工作介质速度下降,同时返回叶轮,压力上升,气体被压缩。可见在水环式真空泵的整个工作过程中,工作介质起着接受来自叶轮的机械能,并将其转换为自身的液体动能,然后液体动能再转换为液体的压力能,并对气体进行压缩做功,从而最终将液体能转换为气体的能量。
⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。